ZP3P-serie vacuümzuignap
ZP3P-serie longitudinaal vacuümuitvoertype met buffer
ZP3P-serie longitudinaal vacuümuitlooptype met buffer is een deeltjesstroomgeleider ontworpen voor hoogvacuümomgevingen. De kernfunctie ervan is het bereiken van een efficiënte en stabiele extractie van longitudinale deeltjesbundels. Tegelijkertijd optimaliseert het de dynamiek van de deeltjestransmissie via geïntegreerde bufferstructuren om te voldoen aan de behoeften van industriële precisieprocessen.
Belangrijkste technische kenmerken
Architectuur voor longitudinale vacuümextractie
Het axiaal symmetrische ontwerp van het vacuümkanaal is toegepast om ervoor te zorgen dat de deeltjesstroom gericht is langs de hoofdas van de apparatuur, om vervorming van het stroomveld veroorzaakt door laterale extractie te voorkomen en om de luchtstroomintegriteit van de vacuümkamer te behouden.
Ingebed buffermechanisme
De ingebouwde meertraps dynamische buffereenheid realiseert de voorregulering van hoogenergetische deeltjesstroom door contactloze energiegradiëntregeling, vermindert de divergentie van de deeltjesfaseruimte en zorgt voor een deeltjesbundel met betere collimatie voor stroomafwaartse processen.
Ontwerp voor vacuümcompatibiliteit
The entire structure meets the ultra-high vacuum (UHV) material specifications and sealing standards, and the key components are passivated on the surface to suppress the outgassing effect, ensuring long-term stable operation at a vacuum degree of 10-5 Pa and above.
Optimalisatie van de transmissiedynamiek
Het gecoördineerde ontwerp van de buffermodule en het extractiekanaal realiseert actieve compressie van het deeltjesenergiespectrum, onderdrukt effectief verstrooiingsverlies en verbetert de straalkwaliteit, wat vooral geschikt is voor toepassingsscenario's met strenge eisen aan monochromaticiteit.
Aanpassingsvermogen van industriële systemen
De standaard flensinterface ondersteunt modulaire integratie en kan naadloos worden aangesloten op verschillende vacuümproceskamers. Het niet-gemagnetiseerde structuurontwerp breidt de toepasbaarheid in magnetische veldgevoelige omgevingen verder uit.







